據國家智能傳感器創(chuàng)新中心官微消息，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業(yè)鏈國產化，實現自主可控。