阿斯麥ASML方面表示，EUV(極紫外光)光刻業(yè)務(wù):第一臺(tái)NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產(chǎn)品，NXE:3600D的生產(chǎn)力提高15%到20%，且套刻精度也提高30%。ASML正增加EUV在存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，并將計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM客戶實(shí)現(xiàn)在未來(lái)的制程節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。