晶盛機(jī)電消息,7月20日,晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆12英寸硅單晶。這是繼2020年8月國內(nèi)首臺8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后,又一次在半導(dǎo)體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展,為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級提供了裝備保障。
晶盛機(jī)電消息,7月20日,晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆12英寸硅單晶。這是繼2020年8月國內(nèi)首臺8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后,又一次在半導(dǎo)體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展,為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級提供了裝備保障。
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