南大光電:公司作為牽頭單位,承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,今日收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實(shí)踐管理辦公室下發(fā)的項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)價(jià)結(jié)論書,項(xiàng)目通過(guò)了專家組驗(yàn)收。
南大光電:公司作為牽頭單位,承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,今日收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實(shí)踐管理辦公室下發(fā)的項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)價(jià)結(jié)論書,項(xiàng)目通過(guò)了專家組驗(yàn)收。
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