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我國(guó)早期半導(dǎo)體硅材料奠基人梁駿吾院士逝世

  據(jù)央視新聞消息,6月24日,中科院半導(dǎo)體所發(fā)布訃告:中國(guó)工程院院士、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員、我國(guó)著名半導(dǎo)體材料學(xué)家梁駿吾先生因病醫(yī)治無效,不幸于2022年6月23日17時(shí)在北京逝世,享年89歲。

  梁駿吾院士從事半導(dǎo)體材料科學(xué)研究工作六十多年,是我國(guó)早期半導(dǎo)體硅材料的奠基人。上世紀(jì)60年代解決了高純區(qū)熔硅的關(guān)鍵技術(shù);1964年制備出室溫激光器用GaAs液相外延材料;1979年研制成功為大規(guī)模集成電路用的無位錯(cuò)、無旋渦、低微缺陷、低碳、可控氧量的優(yōu)質(zhì)硅區(qū)熔單晶;80年代首創(chuàng)了摻氮中子嬗變硅單晶,解決了硅片的完整性和均勻性的問題;90年代初研究MOCVD生長(zhǎng)超晶格量子阱材料,在晶體完整性、電學(xué)性能和超晶格結(jié)構(gòu)控制方面,將中國(guó)超晶格量子阱材料推進(jìn)到實(shí)用水平;他還在太陽電池用多晶硅的研究和產(chǎn)業(yè)化等方面發(fā)揮著積極作用。

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