晶瑞電材在互動(dòng)平臺(tái)回答投資者提問時(shí)表示，公司KrF(248nm深紫外)光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求，已通過部分重要客戶測(cè)試，KrF光刻膠生產(chǎn)及測(cè)試線已經(jīng)基本建成，設(shè)備正在安裝調(diào)試中，爭(zhēng)取今年批量供貨。
晶瑞電材在互動(dòng)平臺(tái)回答投資者提問時(shí)表示，公司KrF(248nm深紫外)光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求，已通過部分重要客戶測(cè)試，KrF光刻膠生產(chǎn)及測(cè)試線已經(jīng)基本建成，設(shè)備正在安裝調(diào)試中，爭(zhēng)取今年批量供貨。
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