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光刻機巨頭ASML擴產(chǎn)EUV與DUV設備

  據(jù)中國臺灣經(jīng)濟日報,光刻機巨頭阿斯麥宣布擴產(chǎn)EUV與DUV乃至于下世代EUV設備計劃。業(yè)界預計,從客戶應用來看,晶圓代工需求最強,特別是先進制程技術(shù)投資不易降低,將持續(xù)帶動阿斯麥長期增長明朗。阿斯麥說明,計劃將年產(chǎn)能增加到90臺EUV和600臺DUV系統(tǒng)(2025-2026年),以及20臺High-NA EUV系統(tǒng)(2027-2028年)。

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